基本信息:
- 专利标题： Deep-ultraviolet chemically-amplified positive photoresist
- 专利标题（中）：深紫外线，化学放大的，正光致抗蚀剂
- 申请号：EP13190478.1 申请日：2013-10-28
- 公开(公告)号：EP2728408B1 公开(公告)日：2015-07-15
- 发明人： Liu, Lu , Xue, Jianshe , Hui, Guanbao
- 申请人： BOE Technology Group Co., Ltd.
- 申请人地址： No. 10 Jiuxianqiao Rd. Chaoyang District Beijing 100015 CN
- 专利权人： BOE Technology Group Co., Ltd.
- 当前专利权人： BOE Technology Group Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： No. 10 Jiuxianqiao Rd. Chaoyang District Beijing 100015 CN
- 代理机构： Körfer, Thomas
- 优先权： CN201210429479 20121031
- 主分类号： G03F7/039
- IPC分类号： G03F7/039 ; G03F7/38 ; C07C61/29
公开/授权文献:
- EP2728408A1 Deep-ultraviolet chemically-amplified positive photoresist 公开/授权日：2014-05-07