发明公开
EP2720040A4 NANOPOSITIONING SUBSTRATE PREPARATION APPARATUS AND PREPARATION METHOD USING DIP PEN NANOLITHOGRAPHY WITH SINGLE OR MULTIPLE TIPS USING ATOMIC FORCE MICROSCOPE (AFM)
有权
基本信息:
- 专利标题： NANOPOSITIONING SUBSTRATE PREPARATION APPARATUS AND PREPARATION METHOD USING DIP PEN NANOLITHOGRAPHY WITH SINGLE OR MULTIPLE TIPS USING ATOMIC FORCE MICROSCOPE (AFM)
- 专利标题（中）：用于制造纳米定位基底与个人或多片蘸笔纳米光刻设备和方法的方法使用核武器高倍显微镜
- 申请号：EP12801029 申请日：2012-05-21
- 公开(公告)号：EP2720040A4 公开(公告)日：2015-05-06
- 发明人： HA TAI-HWAN , PARK JEE-EUN
- 申请人： KOREA RES INST OF BIOSCIENCE
- 专利权人： KOREA RES INST OF BIOSCIENCE
- 当前专利权人： KOREA RES INST OF BIOSCIENCE
- 优先权： KR20110057070 2011-06-13
- 主分类号： G01N33/48
- IPC分类号： G01N33/48 ; B82B3/00 ; G01Q60/24 ; G01Q80/00