基本信息:
- 专利标题： Method of electron diffraction tomography
- 专利标题（中）：电子衍射断层摄影术的方法
- 申请号：EP11171821.9 申请日：2011-06-29
- 公开(公告)号：EP2402977A1 公开(公告)日：2012-01-04
- 发明人： Voigt, Andreas , He, Haifeng
- 申请人： FEI COMPANY
- 申请人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124-5793 US
- 专利权人： FEI COMPANY
- 当前专利权人： FEI COMPANY
- 当前专利权人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124-5793 US
- 代理机构： Bakker, Hendrik
- 优先权： EP10167891 20100630
- 主分类号： H01J37/02
- IPC分类号： H01J37/02 ; H01J37/252 ; H01J37/26 ; H01J37/295 ; G01N23/04 ; G06K9/00 ; G01N23/20
摘要：
The invention describes a method for electron diffraction tomography in a Transmission Electron Microscope. Known methods involve using Scanning Transmission Electron Microscope, and use the scanned beam for STEM diffraction. The invention proposes to form the diffraction patterns with a stationary beam (200) with a diameter slightly larger than the crystal, as a result of which a TEM without STEM unit can be used. Finding the crystal is done in TEM mode. Advantages of the method according to the invention are: a TEM without scanning unit can be used, and the diffraction volume is not depending on the orientation of the crystal, as the whole crystal is illuminated while obtaining the diffraction pattern.
摘要（中）：
本发明描述了一种用于透射电子显微镜中的电子衍射层析成像的方法。 已知的方法涉及使用扫描透射电子显微镜，并使用扫描束进行STEM衍射。 本发明提出用直径稍大于晶体的固定梁（200）形成衍射图案，由此可以使用不含STEM单元的TEM。 寻找晶体是在TEM模式下完成的。 根据本发明的方法的优点是：可以使用没有扫描单元的TEM，并且衍射体积不依赖于晶体的取向，因为在获得衍射图案的同时照亮整个晶体。