基本信息:
- 专利标题： APPARATUS FOR MANUFACTURING THIN FILM SOLAR CELL
- 专利标题（中）：用于生产薄膜太阳能电池的装置
- 申请号：EP09758387 申请日：2009-06-04
- 公开(公告)号：EP2290701A4 公开(公告)日：2012-12-19
- 发明人： SHIMIZU YASUO , OGATA HIDEYUKI , MATSUMOTO KOICHI , NOGUCHI TAKAFUMI , WAKAMORI JOUJI , OKAYAMA SATOHIRO , MORIOKA YAWARA , SUGIYAMA NORIYASU , SHIGETA TAKASHI , KURIHARA HIROYUKI , HASHIMOTO MASANORI , WAKAMATSU SADATSUGU
- 申请人： ULVAC INC
- 专利权人： ULVAC INC
- 当前专利权人： ULVAC INC
- 优先权： JP2008149935 2008-06-06
- 主分类号： H01L31/04
- IPC分类号： H01L31/04 ; C23C16/44 ; H01J37/32 ; H01L21/205