基本信息:
- 专利标题： MICROWAVE PLASMA PROCESSING DEVICE
- 专利标题（中）：微波等离子体处理装置
- 申请号：EP09724062 申请日：2009-03-27
- 公开(公告)号：EP2276328A4 公开(公告)日：2015-01-21
- 发明人： KIM JAEHO , TSUGAWA KAZUO , ISHIHARA MASATOU , HASEGAWA MASATAKA , KOGA YOSHINORI
- 申请人： NAT INST OF ADVANCED IND SCIEN
- 专利权人： NAT INST OF ADVANCED IND SCIEN
- 当前专利权人： NAT INST OF ADVANCED IND SCIEN
- 优先权： JP2008087100 2008-03-28
- 主分类号： H05H1/46
- IPC分类号： H05H1/46 ; C23C16/511 ; H01J37/32