基本信息:
- 专利标题： SHEET STRUCTURE, SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF GROWING CARBON STRUCTURE
- 专利标题（中）：表面结构，半导体元件和方法种植的碳结构体
- 申请号：EP08721055 申请日：2008-02-29
- 公开(公告)号：EP2269948A4 公开(公告)日：2015-08-05
- 发明人： KONDO DAIYU , IWAI TAISUKE , YAMAGUCHI YOSHITAKA , SOGA IKUO
- 申请人： FUJITSU LTD
- 专利权人： FUJITSU LTD
- 当前专利权人： FUJITSU LTD
- 优先权： JP2008053635 2008-02-29
- 主分类号： B82B1/00
- IPC分类号： B82B1/00 ; B82Y30/00 ; B82Y40/00 ; C01B31/02 ; H01L21/3205 ; H01L21/768 ; H01L23/373 ; H01L23/52 ; H01L23/532 ; H05K3/40