基本信息:
- 专利标题： Formbestimmung von Objekten bei der Oberflächenabtastung
- 专利标题（英）：Recognition of object forms during surface mapping
- 专利标题（中）：Formbestimmung von Objekten bei derOberflächenabtastung
- 申请号：EP09152236.7 申请日：2009-02-06
- 公开(公告)号：EP2103900A1 公开(公告)日：2009-09-23
- 发明人： Hain, Stefan , Mooshofer, Hubert , de Carvalho Ferreira, Fabricio
- 申请人： Siemens Aktiengesellschaft
- 申请人地址： Wittelsbacherplatz 2 80333 München DE
- 专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
- 当前专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
- 当前专利权人地址： Wittelsbacherplatz 2 80333 München DE
- 优先权： DE102008015235 20080320; DE102009005111 20090119
- 主分类号： G01B17/06
- IPC分类号： G01B17/06 ; G01B21/20 ; G01N21/88
摘要：
Verfahren zur Inspektion von Bauteiloberflächen (1) mittels eines scannenden Prüfsystems, wobei die Ansteuerung des Prüfsystems derart geschieht, dass, ausgehend von einem bekannten Bereich der Bauteiloberfläche eine Schätzung der Bauteilform vorgenommen wird, die Schätzung am Rand (3) des bekannten Bereiches (4) zumindest für einen Teil des Rands (3) erstellt wird, diese Schätzung für die Berechnung der Bahnkurve (6) für das scannende System verwendet wird, die Inspektion beim Abscannen entlang dieser Bahnkurve (6) durchgeführt wird und die Abweichung von der wahren Bauteilform gemessen wird, so dass entlang dieser Bahnkurve die exakte Form des Bauteils bekannt ist.
摘要（中）：
该方法涉及扫描验证系统，其中验证系统的控制以基于部件表面（1）的识别区域和估计的方式进行，该部件的形状被确定。 在边缘的一部分的识别区域（4）的边缘（3）处产生估计。 该估计用于扫描系统的路径（6）的计算。 对于执行检查方法的设备，包括独立权利要求。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B17/00 | 以采用次声波、声波、超声波振动为特征的计量设备 |
| --------G01B17/06 | .用于计量轮廓或曲率 |