基本信息:
- 专利标题： SPUTTERING TARGET AND METHOD OF FABRICATION
- 专利标题（中）：溅射及其制造方法
- 申请号：EP06734440.8 申请日：2006-02-07
- 公开(公告)号：EP1848552B1 公开(公告)日：2012-10-10
- 发明人： WICKERSHAM, Charles, E., Jr. , LEVIT, Vladimir, I. , ALEXANDER, P., Todd
- 申请人： Cabot Corporation
- 申请人地址： 2 Seaport Lane Suite 1300 Boston MA 02210-2019 US
- 专利权人： Cabot Corporation
- 当前专利权人： GLOBAL ADVANCED METALS, USA, INC.
- 当前专利权人地址： GLOBAL ADVANCED METALS, USA, INC.
- 代理机构： Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser
- 优先权： US55535 20050210
- 国际公布： WO2006086319 20060817
- 主分类号： B21B1/02
- IPC分类号： B21B1/02 ; B21B1/38 ; C23C14/34
公开/授权文献:
- EP1848552A2 SPUTTERING TARGET AND METHOD OF FABRICATION 公开/授权日：2007-10-31
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B21 | 基本上无切削的金属机械加工；金属冲压 |
| ----B21B | 金属的轧制 |
| ------B21B1/00 | 金属轧制的方法或制造实心半成品或成型截面的轧机；轧机机列内的加工序列；轧制车间的布置，如机座的分组，轧道的顺序或分轧道变换的顺序 |
| --------B21B1/02 | .轧制截面形状不重要的重型工件，如锭、板坯、坯 |