专利号EP05857281 | MEMS DEVICE AND INTERPOSER AND METHOD FOR INTEGRATING MEMS DEVICE AND INTERPOSER

专利标题： MEMS DEVICE AND INTERPOSER AND METHOD FOR INTEGRATING MEMS DEVICE AND INTERPOSER
专利标题（中）：MEMS器件和集成的MEMS器件和插入插入件和方法
申请号：EP05857281 申请日：2005-07-13
公开(公告)号：EP1779413A4 公开(公告)日：2012-10-31
发明人： SAWYER WILLIAM D
申请人： DRAPER LAB CHARLES S
专利权人： DRAPER LAB CHARLES S
当前专利权人： DRAPER LAB CHARLES S
优先权： US88986804 2004-07-13
主分类号： H01L21/58
IPC分类号： H01L21/58 ; B81B7/00 ; H01L21/00 ; H01L29/84

H	电学
--H01	基本电气元件
----H01L	半导体器件；其他类目未包含的电固体器件
------H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
--------H01L21/02	.半导体器件或其部件的制造或处理
----------H01L21/027	..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜
------------H01L21/50	...应用H01L21/06至H01L21/326中的任一小组都不包含的方法或设备组装半导体器件的
--------------H01L21/58	....半导体器件在支架上的安装

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