基本信息:
- 专利标题： MEMS device having a trilayered beam and related methods
- 专利标题（中）：MEMS-Einrichtung mit dreischichtigem Strahl unddiesbezüglicheVerfahren
- 申请号：EP06116530.4 申请日：2002-11-08
- 公开(公告)号：EP1721866A1 公开(公告)日：2006-11-15
- 发明人： Cunningham, Shawn, J. , Dereus, Dana R. , Sett, Subham , Tatic-Lucic, Svetlana
- 申请人： WiSpry, Inc.
- 申请人地址： 4001 Weston Parkway, Suite 200 Cary NC 27513 US
- 专利权人： WiSpry, Inc.
- 当前专利权人： WiSpry, Inc.
- 当前专利权人地址： 4001 Weston Parkway, Suite 200 Cary NC 27513 US
- 代理机构： Barth, Stephan Manuel
- 优先权： US337527P 20011109; US337528P 20011109; US337529P 20011109; US338055P 20011109; US338069P 20011109; US338072P 20011109
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00
摘要：
MEMS Switch Designs and Related Methods. According to one embodiment, a movable, trilayered microcomponent suspended over a substrate is provided and includes a first electrically conductive layer patterned to define a movable electrode. The first metal layer is separated from the substrate by a gap. The microcomponent further includes a dielectric layer formed on the first metal layer and having an end fixed with respect to the substrate. Furthermore, the microcomponent includes a second electrically conductive layer formed on the dielectric layer and patterned to define an electrode interconnect for electrically communicating with the movable electrode.
摘要（中）：
MEMS开关设计及相关方法。 根据一个实施例，提供了悬挂在衬底上的可移动的三层微型组件，并且包括图案化以限定可移动电极的第一导电层。 第一金属层通过间隙与衬底分离。 微组件还包括形成在第一金属层上并具有相对于衬底固定的端部的电介质层。 此外，微组件包括形成在电介质层上的第二导电层，并被图案化以限定用于与可动电极电连通的电极互连。
公开/授权文献:
- EP1721866B1 MEMS device having a trilayered beam and related methods 公开/授权日：2008-12-10
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81B | 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置 |
| ------B81B3/00 | 由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成 |