基本信息:
- 专利标题： REAL TIME IMAGE RESIZING FOR DYNAMIC DIGITAL PHOTOLITHOGRAPHY
- 专利标题（中）：ECHTZEIT-BILDUMBEMESSUNGFÜRDIE DYNAMISCHE DIGITALE PHOTOLITHOGRAPHIE
- 申请号：EP04814145 申请日：2004-12-14
- 公开(公告)号：EP1695139A4 公开(公告)日：2008-02-27
- 发明人： SCHROEDER DALE W
- 申请人： AGILENT TECHNOLOGIES INC
- 专利权人： AGILENT TECHNOLOGIES INC
- 当前专利权人： AGILENT TECHNOLOGIES INC
- 优先权： US73673003 2003-12-15
- 主分类号： G03B27/42
- IPC分类号： G03B27/42 ; G02B26/00 ; G02F1/1362 ; G03B27/54 ; G03B27/62 ; G03F7/00 ; G03F7/20 ; G09G5/00
摘要：
A dynamic photolithography system (100) resizes a pattern (410) in real time and photolithographically transfers an image of the resized pattern (510) onto a surface (150) to compensate for distortions in the surface (150) and/or optics (114). The system (100) uses two or more pre-stored spatially offset renderings (400a…400N) of the pattern (410). Each spatially offset rendering (400a…400N) includes pixel data identifying light modulation elements (210) within a spatial light modulator (110) representing the pattern (410). The pattern (410) is spatially offset between the renderings (400a…400N). Portions of the two or more spatially offset renderings (400a…400N) are selected as a function of the distortion to resize the pattern (410) and photolithographically transfer the image of the resized pattern (510) onto the surface (150).
摘要（中）：
动态光刻系统（100）实时调整图案（410）并且光刻地将调整大小的图案（510）的图像转印到表面（150）上以补偿表面（150）和/或光学器件 ）。 系统（100）使用图案（410）的两个或更多个预先存储的空间偏移渲染（400a ... 400N）。 每个空间偏移渲染（400a ... 400N）包括识别表示图案（410）的空间光调制器（110）内的光调制元件（210）的像素数据。 图案（410）在渲染（400a ... 400N）之间在空间上偏移。 根据失真来选择两个或更多个空间偏移渲染（400a ... 400N）的部分以调整图案（410）的大小并且将光栅尺寸图案（510）的图像光刻转移到表面（150）上。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G03 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术 |
| ----G03B | 摄影、放映或观看用的装置或设备；利用了光波以外其他波的类似技术的装置或设备；以及有关的附件 |
| ------G03B27/00 | 印片设备 |
| --------G03B27/02 | .接触印制用曝光设备 |
| ----------G03B27/42 | ..为同一原图自动连续复制的 |