基本信息:

• 专利标题： Electrode for gas laser
• 专利标题（中）：ElektrodenanordnungfürGas-Laser
• 申请号：EP01104169.6 申请日：2001-02-21
• 公开(公告)号：EP1128501A2 公开(公告)日：2001-08-29
• 发明人： Strowitzki, Claus , Kodeda, Hans
• 申请人： TuiLaser AG
• 申请人地址： Industriestrasse 15 82110 Germering DE
• 专利权人： TuiLaser AG
• 当前专利权人： TuiLaser AG
• 当前专利权人地址： Industriestrasse 15 82110 Germering DE
• 代理机构： Hofstetter, Alfons J., Dr.rer.nat.
• 优先权： US510017 20000222
• 主分类号： H01S3/038
• IPC分类号： H01S3/038 ; H01S3/225

摘要：

An electrode arrangement for a gas laser is provided. The electrode arrangement includes an elongated high voltage electrode (104), an elongated ground electrode (105) disposed adjacent to the high voltage electrode, a discharge gap between the two electrodes, an insulator element (110), a high voltage conductor (108) having a first end connected to the high voltage electrode and extending through the insulator element, and a shadow plate (210) interposed between the discharge gap and the insulator element. The electrode arrangement may be employed in a variety of gas lasers, including excimer lasers.

摘要（中）：

提供了一种用于气体激光器的电极装置。 电极装置包括细长的高压电极（104），与高压电极相邻设置的细长接地电极（105），两个电极之间的放电间隙，绝缘体元件（110），高压导体（108） 具有连接到高压电极并延伸穿过绝缘体元件的第一端和插入在放电间隙和绝缘体元件之间的阴影板（210）。 电极装置可用于各种气体激光器，包括准分子激光器。

公开/授权文献:

• EP1128501B1  Electrode arrangement for gas laser 公开/授权日：2004-12-15

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