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专利标题：
Micro-displacement element for a scanning tunneling microscope
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- 专利标题（中）：用于隧道扫描显微镜微位移元件
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申请号：EP92304772.4
申请日：1992-05-27
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公开(公告)号：EP0516380B1
公开(公告)日：1997-03-05
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发明人：
Yamamoto, Keisuke,
c/o Canon Kabushiki Kaisha
, Hirai, Yutaka,
c/o Canon Kabushiki Kaisha
, Nakayama, Masaru,
c/o Canon Kabushiki Kaisha
, Yagi, Takayuki,
c/o Canon Kabushiki Kaisha
, Kasanuki, Yuji,
c/o Canon Kabushiki Kaisha
, Suzuki, Yoshio,
c/o Canon Kabushiki Kaisha
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申请人：
CANON KABUSHIKI KAISHA
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申请人地址：
30-2, 3-chome, Shimomaruko,
Ohta-ku
Tokyo
JP
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专利权人：
CANON KABUSHIKI KAISHA
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当前专利权人：
CANON KABUSHIKI KAISHA
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当前专利权人地址：
30-2, 3-chome, Shimomaruko,
Ohta-ku
Tokyo
JP
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代理机构：
Beresford, Keith Denis Lewis
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优先权：
JP150942/91 19910528; JP151255/92 19920520
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主分类号：
G01N27/00
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IPC分类号：
G01N27/00
; G11B9/00
