基本信息:
- 专利标题： Thin film forming apparatus
- 专利标题（中）：薄膜成型设备
- 申请号：EP88308966.6 申请日：1988-09-28
- 公开(公告)号：EP0310347B1 公开(公告)日：1992-11-25
- 发明人： Akahori, Takashi, c/o Sumitomo Metal Ind.Ltd. , Nakayama, Satoshi, c/o Sumitomo Metal Ind.Ltd.
- 申请人： SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD.
- 申请人地址： 15, Kitahama 5-chome, Higashi-ku Osaka-shi, Osaka, 541 JP
- 专利权人： SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD.
- 当前专利权人： SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD.
- 当前专利权人地址： 15, Kitahama 5-chome, Higashi-ku Osaka-shi, Osaka, 541 JP
- 代理机构： Charlton, Peter John
- 优先权： JP248911/87 19870930
- 主分类号： C23C16/48
- IPC分类号： C23C16/48 ; C23C16/54
公开/授权文献:
- EP0310347A1 Thin film forming apparatus 公开/授权日：1989-04-05