基本信息:
- 专利标题： Process and apparatus for making silicon bars
- 专利标题（中）：制造硅棒的工艺和装置
- 申请号：EP86112146 申请日：1986-09-02
- 公开(公告)号：EP0217158A3 公开(公告)日：1988-11-09
- 发明人： Stock, Horst, Dipl.-Phys. , Huber, Lothar , Priewasser, Georg
- 申请人： Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH
- 专利权人： Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH
- 当前专利权人： Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH
- 优先权： DE3531610 19850904
- 主分类号： C30B11/08
- IPC分类号： C30B11/08 ; C30B29/60 ; C30B29/06 ; C30B11/10
摘要：
Es wird ein Verfahren zur Herstellung von Siliciumstäben mit einer Kolumnarstruktur aus einkristallinen Kristall bezirken mit kristallographischer Vorzugsorientierung an gegeben. Aus einem Siliciumreservoir wird schmelzflüssiges Silicium in eine Kristallisationskammer überführt, welche durch in Form des gewünschten Stabquerschnittes fugen dicht angeordnete Rollen gebildet wird. Dort bildet das Sil icium zunächst eine stabile Außenschale aus erstarrtem Mat erial aus und wird, während es weiter durchkristallisiert, nach unten abgezogen und von den Rollen freigegeben. Wegen des kurzen Kontaktes mit einer Gefäßwandung wird ein be sonders verunreinigungsarmer Siliciumstab erhalten.