基本信息:
- 专利标题： 一种石英管装料夹持机构
- 申请号：CN202322471932.1 申请日：2023-09-12
- 公开(公告)号：CN220999960U 公开(公告)日：2024-05-24
- 发明人： 崔国维 , 江炼金 , 王滔 , 毕宏岩
- 申请人： 广东先导微电子科技有限公司
- 申请人地址： 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
- 专利权人： 广东先导微电子科技有限公司
- 当前专利权人： 广东先导微电子科技有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理人： 许庆胜
- 主分类号： C30B35/00
- IPC分类号： C30B35/00 ; C30B29/42
摘要：
本申请涉及单晶生长技术领域，具体公开了一种石英管装料夹持机构，包括：支撑板、夹持架与螺栓；所述夹持架包括多个，且呈圆周分布设置于所述支撑板的底部；所述夹持架沿圆周径向可滑动设置；所述螺栓一一对应连接所述夹持架与所述支撑板，用于推动所述夹持架滑动。本方案提供的石英管装料夹持机构可以通过夹持架将石英管夹持，并通过螺栓拧紧固定，之后工作人员可以通过支撑板将石英管提起，相比于手捏管壁的方式，可以降低石英管脱落的风险并提高搬运石英管放入单晶炉的效率，有效解决现有的将石英管放置入单晶炉的方式工作效率低且存在石英管脱落风险的问题。