基本信息:
- 专利标题： 一种快速导流散热型硅研磨片
- 申请号：CN202222999633.0 申请日：2022-11-11
- 公开(公告)号：CN219767859U 公开(公告)日：2023-09-29
- 发明人： 何建军 , 朱国强
- 申请人： 江苏益芯半导体有限公司
- 申请人地址： 江苏省南通市如皋市城南街道海阳南路2号电子信息产业园5号楼3楼
- 专利权人： 江苏益芯半导体有限公司
- 当前专利权人： 江苏基尔彼新材料科技有限公司
- 当前专利权人地址： 226000 江苏省南通市幸福路718号
- 代理机构： 北京和信华成知识产权代理事务所
- 代理人： 焦海峰
- 主分类号： B24B37/12
- IPC分类号： B24B37/12 ; B24B37/34
摘要：
本实用新型公开了一种快速导流散热型硅研磨片，包括研磨转盘，研磨转盘的底部固定设有硅研磨片本体，研磨转盘的内壁等距离开设有多个冷却槽，每个冷却槽内壁的一侧均等距离开设有多个连接槽，研磨转盘的外壁等距离开设有多个出水孔，研磨转盘顶端的一侧开设有进水孔，且进水孔一端的内壁与其中一个冷却槽的内壁连通。本实用新型，在研磨转盘配合硅研磨片本体长时间加工打磨工件之后，硅研磨片本体上端的温度较高，此时将外接的水管与对接管对接，使得冷水通过进水孔进入冷却槽中，并通过连接槽流到导流，使得研磨转盘上端的温度急速下降，进而与硅研磨片本体接触使其上端的温度也快速降下，从而提高装置的实用性。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B24 | 磨削；抛光 |
| ----B24B | 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 |
| ------B24B37/00 | 研磨机床或装置，即需要在相对软但仍为刚性的研具和被研磨表面之间加入粉末状磨料；及其附件 |
| --------B24B37/005 | .研磨机床或装置的控制装置 |
| ----------B24B37/12 | ..用于加工平面的研磨片 |