基本信息:
- 专利标题： 一款晶圆自动插片设备
- 申请号：CN202320911202.6 申请日：2023-04-19
- 公开(公告)号：CN219497750U 公开(公告)日：2023-08-08
- 发明人： 吴为珍 , 孙涛涛 , 吴拓 , 孙昌才
- 申请人： 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
- 申请人地址： 安徽省芜湖市中国(安徽)自由贸易试验区芜湖片区衡山路35号汽车电子创业园A1103-1104
- 专利权人： 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
- 当前专利权人： 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
- 当前专利权人地址： 安徽省芜湖市中国(安徽)自由贸易试验区芜湖片区衡山路35号汽车电子创业园A1103-1104
- 代理机构： 广州大象飞扬知识产权代理有限公司
- 代理人： 张能伟
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/683
摘要：
本实用新型涉及晶圆自动插片技术领域，尤其为一款晶圆自动插片设备，包括设备主体，设备主体内设有工作台，工作台中间处设有旋转圆盘，旋转圆盘上且位于旋转圆盘四个方位均设有四个限位杆，限位杆远离旋转圆盘的顶端一侧设有转轴，转轴转动连接有横杆，横杆远离转轴的一端设有圆形块，横杆的底端与限位杆顶端远离转轴的一侧连接设有弹簧，本实用新型在工作台上增设旋转圆盘和限位装置，将一摞晶圆放入四个限位杆组成的卡槽中，随着丝杆和电机的带动使旋转圆盘上升便于电磁吸盘吸附最上方的晶圆进行提取传送至传送带上，在电磁吸盘吸取圆盘时，圆形块和横杆会对下面的晶圆抵住，避免晶圆发生倾斜或掉落，实现机器自动化完成插片，提高实用性。