
基本信息:
- 专利标题: 非接触式石墨舟
- 申请号:CN202320186696.6 申请日:2023-02-03
- 公开(公告)号:CN219280026U 公开(公告)日:2023-06-30
- 发明人: 查通 , 夏志鹏 , 王龙 , 黄纪德 , 刘长明
- 申请人: 浙江晶科能源有限公司 , 晶科能源股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号;
- 专利权人: 浙江晶科能源有限公司,晶科能源股份有限公司
- 当前专利权人: 浙江晶科能源有限公司,晶科能源股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号;
- 代理机构: 北京汇思诚业知识产权代理有限公司
- 代理人: 范旋锋
- 主分类号: C23C16/458
- IPC分类号: C23C16/458 ; H01L21/673
摘要:
本申请公开了一种非接触式石墨舟,该非接触式石墨舟包括石墨舟片和固定件,所述石墨舟片开设有镂空部,所述固定件连接于所述石墨舟片,且所述固定件朝向所述镂空部的方向延伸,用于固定硅片,在所述硅片固定于所述固定件时,在第一方向上,所述硅片的投影完全落入所述镂空部的投影内,其中,所述第一方向为垂直于所述石墨舟片表面的方向。本申请的石墨舟片在固定硅片时,硅片与石墨舟片并不接触,因此,能够解决因石墨舟片与硅片接触而导致硅片边缘膜厚偏厚,与中心位置膜色差异偏大的问题,且能够进行双面同时镀膜,减少硅片高温工艺时间,降低少子损失,有利于提高电池效率。