基本信息:
- 专利标题： 非接触式石墨舟
- 申请号：CN202320186696.6 申请日：2023-02-03
- 公开(公告)号：CN219280026U 公开(公告)日：2023-06-30
- 发明人： 查通 , 夏志鹏 , 王龙 , 黄纪德 , 刘长明
- 申请人： 浙江晶科能源有限公司 , 晶科能源股份有限公司
- 申请人地址： 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号;
- 专利权人： 浙江晶科能源有限公司,晶科能源股份有限公司
- 当前专利权人： 浙江晶科能源有限公司,晶科能源股份有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号;
- 代理机构： 北京汇思诚业知识产权代理有限公司
- 代理人： 范旋锋
- 主分类号： C23C16/458
- IPC分类号： C23C16/458 ; H01L21/673
摘要：
本申请公开了一种非接触式石墨舟，该非接触式石墨舟包括石墨舟片和固定件，所述石墨舟片开设有镂空部，所述固定件连接于所述石墨舟片，且所述固定件朝向所述镂空部的方向延伸，用于固定硅片，在所述硅片固定于所述固定件时，在第一方向上，所述硅片的投影完全落入所述镂空部的投影内，其中，所述第一方向为垂直于所述石墨舟片表面的方向。本申请的石墨舟片在固定硅片时，硅片与石墨舟片并不接触，因此，能够解决因石墨舟片与硅片接触而导致硅片边缘膜厚偏厚，与中心位置膜色差异偏大的问题，且能够进行双面同时镀膜，减少硅片高温工艺时间，降低少子损失，有利于提高电池效率。