基本信息:
- 专利标题： 一种真空测量系统传感器防中毒装置
- 申请号：CN202220781039.1 申请日：2022-04-02
- 公开(公告)号：CN217418797U 公开(公告)日：2022-09-13
- 发明人： 陆为民 , 叶咸富 , 王定强
- 申请人： 浙江南洋华诚科技有限公司
- 申请人地址： 浙江省台州市台州湾新区白云街道东环大道988号3幢201室(仅限办公)
- 专利权人： 浙江南洋华诚科技有限公司
- 当前专利权人： 浙江南洋华诚科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 318000 浙江省台州市台州湾新区白云街道东环大道988号3幢201室（仅限办公）
- 代理机构： 浙江维创盈嘉专利代理有限公司
- 代理人： 龚洋洋
- 主分类号： C23C14/24
- IPC分类号： C23C14/24 ; C23C14/52 ; G01L21/00 ; B01D46/10
摘要：
本实用新型公开了一种真空测量系统传感器防中毒装置，旨在提供一种防止油蒸汽对真空压力传感器造成侵蚀损坏，延长使用寿命的真空测量系统传感器防中毒装置，其技术方案要点是一种真空测量系统传感器防中毒装置，包括蒸镀室，蒸镀室侧面安装有真空传感器，还包括：安装在真空传感器和蒸镀室之间并相连通的腔体；安装在腔体的内壁上的回流隔板，并用于腔体内油蒸汽的回流；安装在腔体两端的过滤网；其中，回流隔板为若干个，并向下倾斜设置，且分别交错安装在腔体内两侧的内壁上，通过设置腔体，并在腔体内设置回流隔板以及两端设置过滤网，使得油蒸汽不断回流，从而防止粉尘和油蒸汽对真空压力传感器造成污染，本实用新型适用于蒸镀技术领域。