基本信息:
- 专利标题： 一种行星盘结构以及蒸镀设备
- 申请号：CN202123426293.4 申请日：2021-12-31
- 公开(公告)号：CN217230906U 公开(公告)日：2022-08-19
- 发明人： 谭子婷 , 齐意 , 易洪昇 , 焦威
- 申请人： 华为数字能源技术有限公司
- 申请人地址： 广东省深圳市福田区香蜜湖街道香安社区安托山六路33号安托山总部大厦A座研发39层01号
- 专利权人： 华为数字能源技术有限公司
- 当前专利权人： 华为数字能源技术有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市福田区香蜜湖街道香安社区安托山六路33号安托山总部大厦A座研发39层01号
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理人： 杨泽; 黄健
- 主分类号： C23C14/24
- IPC分类号： C23C14/24 ; C23C14/50
摘要：
本申请实施例提供一种行星盘结构以及蒸镀设备，其中该行星盘结构包括：旋转盘和至少一个基片盘，每个所述基片盘与所述旋转盘之间设有第一转动连接件，所述第一转动连接件用于将所述基片盘与所述旋转盘之间转动相连，以使所述基片盘与所述旋转盘的中心轴线之间的夹角可变。本申请实施例中的该行星盘结构基片盘的角度可变，可以有效改善大尺寸基片镀膜时基片上金属薄膜厚度的均一性，提高基片镀膜的成品率，从而可以降低生产成本。