基本信息:
- 专利标题： 一种高可靠性的MEMS纤毛-十字梁湍流敏感结构
- 申请号：CN202123325139.8 申请日：2021-12-27
- 公开(公告)号：CN216668709U 公开(公告)日：2022-06-03
- 发明人： 张增星 , 刘丹 , 薛晨阳 , 张文君 , 高瑞 , 廖志伟 , 景俊民
- 申请人： 中北大学
- 申请人地址： 山西省太原市尖草坪区学院路3号
- 专利权人： 中北大学
- 当前专利权人： 中北大学
- 当前专利权人地址： 山西省太原市尖草坪区学院路3号
- 代理机构： 北京鼎德宝专利代理事务所
- 代理人： 钟西飞
- 主分类号： G01C13/00
- IPC分类号： G01C13/00
摘要：
本实用新型涉及海洋湍流探测技术领域，具体涉及一种高可靠性的MEMS纤毛‑十字梁湍流敏感结构，包括信号接收板、设置在信号接收板上的梁根部加固型十字梁芯片、以及集成设置在梁根部加固型十字梁芯片上的仿生纤毛，梁根部加固型十字梁芯片与信号接收板上的焊盘材料均为金，并通过金丝引线键合技术将两者相对应的焊点相连。本实用新型可有效解决纤毛十字梁结构在实际应用过程出现的各种损坏问题，大幅度提高了其可靠性，为纤毛‑十字梁结构的工程应用奠定了坚实的基础。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01C | 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学 |
| ------G01C13/00 | 专门用于露天水源勘测,例如海洋、湖泊、江河、运河 |