基本信息:
- 专利标题： 一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉
- 申请号：CN202022897671.6 申请日：2020-12-03
- 公开(公告)号：CN213835621U 公开(公告)日：2021-07-30
- 发明人： 宋振亮 , 沈福哲
- 申请人： 西安奕斯伟硅片技术有限公司 , 西安奕斯伟材料技术有限公司
- 申请人地址： 陕西省西安市高新区西沣南路1888号;
- 专利权人： 西安奕斯伟硅片技术有限公司,西安奕斯伟材料技术有限公司
- 当前专利权人： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司,西安奕斯伟硅片技术有限公司
- 当前专利权人地址： 710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
- 代理机构： 西安维英格知识产权代理事务所
- 代理人： 王渝; 姚勇政
- 主分类号： C30B15/00
- IPC分类号： C30B15/00 ; C30B29/06
摘要：
本实用新型实施例公开了一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉，所述拉晶炉可以包括：限定出炉腔的炉壁；位于所述炉腔内并用于容纳熔融硅的坩埚，其中，所述坩埚在拉晶过程中升起以使所述熔融硅的液面处于固定的水平高度处；设置在所述坩埚的径向外侧的坩埚加热器；设置在所述坩埚和所述坩埚加热器的上方以用于将保护气体引导至所述熔融硅的液面的导流筒；设置在所述导流筒与所述炉壁之间的隔热环，所述隔热环用于抑制所述坩埚加热器产生的热量朝向所述炉壁的顶部散失；提升机构，所述提升机构用于提升所述隔热环以使得在所述坩埚升起的过程中不会被所述隔热环阻挡。