基本信息:
- 专利标题： 用于确定粒子-光学透镜的像差函数的像差系数的方法
- 专利标题（英）：Method for determining the aberration coefficients of the aberration function of a particle-optical lens
- 申请号：CN200610168858.4 申请日：2006-12-06
- 公开(公告)号：CN1979751B 公开(公告)日：2011-01-26
- 发明人： C·科克 , M·J·V·D·詹德 , B·里杰
- 申请人： FEI公司
- 申请人地址： 美国俄勒冈州
- 专利权人： FEI公司
- 当前专利权人： FEI公司
- 当前专利权人地址： 美国俄勒冈州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 张亚宁; 张志醒
- 优先权： 05111741.4 2005.12.06 EP
- 主分类号： H01J37/153
- IPC分类号： H01J37/153 ; H01J37/21 ; H01J37/28
A lens of particle-optical apparatus, such as the objective lens, suffers from aberrations. As is already known since decades Ronchigrams can be used to determine these aberrations of particle-optical lenses. Such methods rely e.g. on the determination of the 2nd derivative of the aberration function on the basis of local magnification in one or a set of Ronchigrams. Being dependent on the 2nd derivative the mathematics of these methods allow only (infinitesimal) small shifts between the Ronchigrams. However, this implies that e.g. the spatial quantization noise of the camera recording the Ronchigrams results in a large error. These conflicting requirements limit the accuracy and thus the usefulness of the known methods. The invention describes a set of algorithms which result in an improved method to quantify the lens aberration coefficients using a set of Ronchigrams.
公开/授权文献:
- CN1979751A 用于确定粒子－光学透镜的像差函数的像差系数的方法 公开/授权日：2007-06-13
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/04 | ..电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 |
| ------------H01J37/153 | ...用以校正图像缺陷的电子或离子光学装置，如像散校正装置 |