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基本信息:
- 专利标题: 压电单晶元件及其制造方法
- 专利标题(英):Piezoelectric single crystal element and process for fabricating the same
- 申请号:CN200480042913.4 申请日:2004-10-28
- 公开(公告)号:CN1943054A 公开(公告)日:2007-04-04
- 发明人: 松下三芳
- 申请人: 杰富意矿物股份有限公司
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 杰富意矿物股份有限公司
- 当前专利权人: 杰富意矿物股份有限公司
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理人: 王海川; 樊卫民
- 优先权: 135313/2004 2004.04.30 JP
- 国际申请: PCT/JP2004/016371 2004.10.28
- 国际公布: WO2005/106986 JA 2005.11.10
- 进入国家日期: 2006-10-30
- 主分类号: H01L41/187
- IPC分类号: H01L41/187 ; H01L41/22 ; C04B35/00
摘要:
提供一种能够稳定地得到横向振动模式的机电偶合系数k31为60%以上的压电单晶元件及其制造方法。具体而言,在以极化方向(3)为假立方晶系的[110]轴时,压电元件端面10c的法线方向(1)在包含与极化方向大致正交的方向即[001]轴且在该[001]轴±35°的角度范围内,与极化方向(3)正交的方向即横向振动模式的机电偶合系数k31为60%以上。
摘要(英):
To provide a piezoelectric single-crystal device which can stably attain an electromechanical coupling factor k 31 of 60% or more in the lateral vibration mode and a method of manufacturing the same. Specifically, the piezoelectric single-crystal device has the polarization direction 3 in the [110] axis of a pseudocubic system and has the direction normal to an end face 10c of the piezoelectric device within the solid angle range of the [001] axis ± 35° including the [001] axis approximately orthogonal to the polarization direction 3. The electromechanical coupling factor k 31 in the direction orthogonal to the polarization direction 3, in the so-called lateral vibration mode, is 60% or more.
公开/授权文献:
- CN100578833C 压电单晶元件及其制造方法 公开/授权日:2010-01-06
IPC结构图谱:
H | 电学 |
--H04 | 电通信技术 |
----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
------H01L41/16 | .材料的选择 |
--------H01L41/18 | ..用于压电器件或电致伸缩器件的 |
----------H01L41/187 | ...陶瓷合成物 |