基本信息:
- 专利标题： 试样观察方法和显微镜、以及用于它们的固体浸没透镜和光学密着液
- 专利标题（英）：Sample observation method, microscope, and solid immersion lens, optical contact liquid used in the method
- 申请号：CN200480032462.6 申请日：2004-10-28
- 公开(公告)号：CN1875308A 公开(公告)日：2006-12-06
- 发明人： 荒田育男 , 坂本繁 , 寺田浩敏
- 申请人： 浜松光子学株式会社
- 申请人地址： 日本静冈县
- 专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本静冈县
- 代理机构： 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理人： 龙淳
- 优先权： 373078/2003 2003.10.31 JP
- 国际申请： PCT/JP2004/016038 2004.10.28
- 国际公布： WO2005/043215 JA 2005.05.12
- 进入国家日期： 2006-04-30
- 主分类号： G02B21/00
- IPC分类号： G02B21/00 ; G01N13/14 ; G12B21/06
摘要：
在成为检查对像的试样的半导体器件上滴下含有两亲分子的光学密着液(S104)，并在其上面设置固体浸没透镜(S105)。接着，调整固体浸没透镜的揷入位置(S106)，之后，使光学密着液干燥(S108)，使固体浸没透镜与半导体器件光学性地密着。由此，能够实现向试样的所希望的位置的对位容易，能够将固体浸没透镜光学上确实地密着在试样上的试样观察方法及显微镜等。
摘要（英）：
An optical contact liquid containing amphiphilic molecules is dropped on a semiconductor device as an inspection subject specimen (S104), and a solid immersion lens is disposed thereon (S105). Subsequently, the position of insertion of the solid immersion lens is regulated (S106), and the optical contact liquid is dried (S108) so as to effect optical contact of the solid immersion lens with the semiconductor device. As a result, there can be realized a specimen observation method, microscope, etc. wherein positioning to desired site of a specimen is facilitated and wherein optically secure contact of a solid immersion lens with the specimen can be accomplished.
公开/授权文献:
- CN100410718C 试样观察方法 公开/授权日：2008-08-13