基本信息:
- 专利标题： 调整基底形状的卡盘系统和方法
- 专利标题（英）：Chucking system and method for modulating shapes of substrates
- 申请号：CN200380106274.9 申请日：2003-11-12
- 公开(公告)号：CN1726429B 公开(公告)日：2010-10-13
- 发明人： B-J·乔伊 , R·D·弗伊欣 , S·V·斯里尼瓦桑 , M·P·C·瓦茨 , D·A·巴布斯 , M·J·美斯尔 , H·L·贝利 , N·E·苏马克
- 申请人： 分子制模股份有限公司
- 申请人地址： 美国得克萨斯州
- 专利权人： 分子制模股份有限公司
- 当前专利权人： 分子制模股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国得克萨斯州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理人： 顾峻峰
- 优先权： 10/293,224 2002.11.13 US; 10/316,963 2002.12.11 US
- 国际申请： PCT/US2003/036012 2003.11.12
- 国际公布： WO2004/044651 EN 2004.05.27
- 进入国家日期： 2005-06-16
- 主分类号： G03B27/58
- IPC分类号： G03B27/58 ; G03B27/60 ; G03B27/32 ; B29C35/08 ; H01L21/461
The present invention is directed to a chucking system (40) and method for modulating shapes of a substrate (26), having first (26b) and second opposed surfaces (26a). This is achieved by creating a pressure differential between differing regions of the first opposed surface to attenuate structural distortions in the second opposed surface that results from external forces bearing on the substrate. To that end, the chucking system includes a chuck body having first and second opposed sides. A side surface extends therebetween. The first side includes first (58) and second (60) spaced-apart support regions. The first support region cinctures the second support region and the first (52) and second (54) recesses. The second support region cinctures the second recess, with a portion of the body in superimposition with the second recess being transparent to radiation having a predetermined wavelength. The second side and the side surface define exterior surfaces.
公开/授权文献:
- CN1726429A 调整基底形状的卡盘系统和方法 公开/授权日：2006-01-25
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G03 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术 |
| ----G03B | 摄影、放映或观看用的装置或设备；利用了光波以外其他波的类似技术的装置或设备；以及有关的附件 |
| ------G03B27/00 | 印片设备 |
| --------G03B27/02 | .接触印制用曝光设备 |
| ----------G03B27/52 | ..零部件 |
| ------------G03B27/58 | ...底座、遮光框架或感光材料的其他夹持器 |