基本信息:
- 专利标题： 暗场检测系统
- 专利标题（英）：Dark field inspection system
- 申请号：CN03823095.X 申请日：2003-09-08
- 公开(公告)号：CN1685220B 公开(公告)日：2010-04-28
- 发明人： 都伦·寇恩葛特 , 艾瑞兹·爱德莫尼 , 欧菲·卡达 , 雷夫·卡克凡契 , 翰·菲德门 , 艾麦夏·捷塔
- 申请人： 应用材料以色列股份有限公司 , 应用材料有限公司
- 申请人地址： 以色列里欧宝特
- 专利权人： 应用材料以色列股份有限公司,应用材料有限公司
- 当前专利权人： 应用材料以色列公司,应用材料公司
- 当前专利权人地址： 以色列里欧宝特
- 代理机构： 北京中原华和知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 寿宁
- 优先权： 60/415,082 2002.09.30 US
- 国际申请： PCT/US2003/028062 2003.09.08
- 国际公布： WO2004/031754 EN 2004.04.15
- 进入国家日期： 2005-03-28
- 主分类号： G01N21/95
- IPC分类号： G01N21/95
摘要：
本发明是有关于一种暗场检测系统，用于检测样品的装置，其包括一发射源，该发射源用来把光射线引导到样品表面的一个区域上；以及多数个影像传感器。每一个影像传感器被配置用来接收从该区域散射的不同的，各自角度范围内的射线，从而形成该区域各自的影像。一个影像处理器用来处理至少一个相应的影像来检测该表面的缺陷。
摘要（英）：
The invention relates to a dark field inspection system, an apparatus for inspection of a sample includes a radiation source, which is adapted to direct optical radiation onto an area of a surface ofthe sample, and a plurality of image sensors. Each of the image sensors is configured to receive the radiation scattered from the area into a different, respective angular range, so as to form respective images of the area. An image processor is adapted to process at least one of the respective images so as to detect a defect on the surface.
公开/授权文献:
- CN1685220A 暗场检测系统 公开/授权日：2005-10-19
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |
| ------------G01N21/95 | ...特征在于待测物品的材料或形状 |