![曝光装置和用于制造曝光装置的方法](/CN/2003/8/20/images/200380100103.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 曝光装置和用于制造曝光装置的方法
- 专利标题(英):Exposure system and production method for exposure system
- 申请号:CN200380100103.5 申请日:2003-10-10
- 公开(公告)号:CN1684837A 公开(公告)日:2005-10-19
- 发明人: 盐田聪 , 安永真 , 增渕贞夫 , 岩子彰展
- 申请人: 西铁城时计株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 西铁城时计株式会社
- 当前专利权人: 西铁城时计株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理人: 秦晨
- 优先权: 297721/2002 2002.10.10 JP; 297797/2002 2002.10.10 JP; 297814/2002 2002.10.10 JP; 297836/2002 2002.10.10 JP
- 国际申请: PCT/JP2003/013088 2003.10.10
- 国际公布: WO2004/035317 JA 2004.04.29
- 进入国家日期: 2004-07-13
- 主分类号: B41J2/445
- IPC分类号: B41J2/445
摘要:
本发明在于提供一种在其中存储有被适当确定的电流值,用于向发光设备供电的曝光装置,和用于制造这种曝光装置的方法。根据本发明的制造方法包括步骤:向发光设备提供参考电流,并测量来自光调制设备的多个像素中各像素的光量;确定从多个像素测得的光量中的最小值是否处在预定范围内;以及当光量的最小值处在预定范围之外时,确定所要提供给发光设备的电流值,以使光量的最小值落在预定范围内。
公开/授权文献:
- CN100398328C 一种曝光装置 公开/授权日:2008-07-02
IPC结构图谱:
B | 作业;运输 |
--B41 | 印刷;排版机;打字机;模印机 |
----B41J | 打字机;选择性印刷机构,即不用印刷的印刷机构;排版错误的修正 |
------B41J2/00 | 以打印或标记工艺为特征而设计的打字机或选择性印刷机构 |
--------B41J2/005 | .特征在于使液体或粉粒有选择地与印刷材料接触 |
----------B41J2/44 | ..用单照射源,如光束或光栅配置 |
------------B41J2/445 | ...用液晶 |