基本信息:
- 专利标题： MEMS圆片或器件的动态测试加载装置
- 专利标题（英）：Dynamic testing loading unit for MEMS disc or device
- 申请号：CN200510018470.1 申请日：2005-03-29
- 公开(公告)号：CN1666952A 公开(公告)日：2005-09-14
- 发明人： 汪学方 , 史铁林 , 张鸿海 , 刘胜 , 施阳和 , 甘志银 , 谢勇君
- 申请人： 华中科技大学
- 申请人地址： 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人： 华中科技大学
- 当前专利权人： 华中科技大学
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构： 华中科技大学专利中心
- 代理人： 朱仁玲
- 主分类号： B81C5/00
- IPC分类号： B81C5/00 ; G01H11/06
摘要：
本发明公开了一种MEMS圆片或器件的动态测试加载装置，该装置的结构为：透光片置于腔体的开口端面上，与腔体构成密封腔，在腔体上装有电极，开有充气口、抽真空口和真空计接口，支架固定在腔体的底座上，调节螺钉装在支架的底座内，压电陶瓷置于支架内，其下端与调节螺钉相接，上端与支架相接，支承板固定在支架上，圆片压条与支承板相固定。该装置通过压电陶瓷可以得到精确的振动频率和振幅，能够实现频率和振幅在相对较大的范围内变化，而且便于控制，可为MEMS圆片或器件测试时，提供不同的真空度，不同的温度和不同的振动状态环境。
公开/授权文献:
- CN1282598C MEMS圆片或器件的动态测试加载装置 公开/授权日：2006-11-01
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81C | 专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备 |
| ------B81C5/00 | 不包含在B81C1/00或B81C3/00组中的方法或设备 |