基本信息:
- 专利标题： 表面声波装置的频率调整方法及电子设备
- 专利标题（英）：Frequency adjusting method for surface sound wave device and electronic apparatus
- 申请号：CN200310121464.X 申请日：2003-12-17
- 公开(公告)号：CN1510833A 公开(公告)日：2004-07-07
- 发明人： 押尾政宏
- 申请人： 精工爱普生株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理人： 李辉
- 优先权： 364555/2002 2002.12.17 JP; 319554/2003 2003.09.11 JP
- 主分类号： H03H3/10
- IPC分类号： H03H3/10 ; H03H3/08
摘要：
本发明实现一种表面声波装置，能高精度调整频率而且使调整后的中心频率的随时间变化很小，并可以长期稳定动作。把形成于石英基板1上的IDT电极2的厚度h设定为只比目标厚度稍厚一些，使中心频率只比目标值稍低一些(S1)。其次，在IDT电极2上施加电压，开始中心频率的测定(S2)。此时，所测定的中心频率稍低于目标值。因此，一边确认测定频率，一边进行石英基板1的背面1b的蚀刻(S3)。于是，通过该蚀刻所测定的中心频率缓慢上升并接近目标值。进而，继续该蚀刻，直到中心频率变为目标值为止(S3、S4)，在其变为目标值时，停止蚀刻(S5)。
公开/授权文献:
- CN100576729C 表面声波装置的频率调整方法及电子设备 公开/授权日：2009-12-30
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H03 | 基本电子电路 |
| ----H03H | 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器 |
| ------H03H3/00 | 专用于制造阻抗网络、谐振电路、谐振器的设备或方法 |
| --------H03H3/007 | .用于制造机电谐振器或网络 |
| ----------H03H3/08 | ..用于制造应用声表面波的网络或谐振器 |
| ------------H03H3/10 | ...用于取得所需要的频率或温度系数 |