基本信息:
- 专利标题： 激光束均匀照射的光学系统
- 专利标题（英）：Optical system with laser beam uniform irradiation
- 申请号：CN03108378.1 申请日：2003-03-28
- 公开(公告)号：CN1448753A 公开(公告)日：2003-10-15
- 发明人： 岡本達樹 , 森川和敏 , 佐藤行雄 , 西前順一 , 小川哲也
- 申请人： 三菱电机株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 三菱电机株式会社
- 当前专利权人： 三菱电机株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理人： 王以平
- 优先权： 091440/2002 2002.03.28 JP; 091454/2002 2002.03.28 JP; 091468/2002 2002.03.28 JP
- 主分类号： G02B27/10
- IPC分类号： G02B27/10 ; G02B27/28 ; H01L21/324 ; H01S3/00
摘要：
激光束均匀照射的光学系统，包括：把来自光源的激光束在空间上分割为分割束的波导；把分割束重合照射在照射面上的重合用透镜；使照射面上的光束强度均匀的延迟板。波导使分割束宽度为激光束截面上的空间干涉距离的1/2倍以上；延迟板使分割出的彼此相邻的分割束间延迟比该激光束的时间的干涉距离还长，减轻照射面上的干涉。另一光学系统包括：把激光束分割为分割束的激光束分割部件；把分割束重合照射在照射面上的重合照射部件；使照射面上的光束强度均匀的均匀化部件。均匀化部件包括：使分割出的彼此相邻的分割束之间延迟比该激光束的时间的干涉距离还长的光学延迟部件，还可包括：使分割出的彼此相邻的分割束之间偏振方向实质上正交的旋光部件。
公开/授权文献:
- CN1249483C 激光束均匀照射的光学系统 公开/授权日：2006-04-05
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G02 | 光学 |
| ----G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| ------G02B27/00 | 其他光学系统；其他光学仪器 |
| --------G02B27/10 | .光束分解或组合系统 |