基本信息:
- 专利标题： 双头质量传感器和质量检测方法
- 专利标题（英）：Double-headed mass sensor and mass detection method
- 申请号：CN98804546.X 申请日：1998-09-04
- 公开(公告)号：CN1253621A 公开(公告)日：2000-05-17
- 发明人： 武内幸久 , 大西孝生 , 木村浩二
- 申请人： 日本碍子株式会社
- 申请人地址： 日本爱知县
- 专利权人： 日本碍子株式会社
- 当前专利权人： 日本碍子株式会社
- 当前专利权人地址： 日本爱知县
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 王勇; 叶恺东
- 优先权： 361369/97 1997.12.26 JP
- 国际申请： PCT/JP1998/03970 1998.09.04
- 国际公布： WO1999/34176 JA 1999.07.08
- 进入国家日期： 1999-10-26
- 主分类号： G01G3/13
- IPC分类号： G01G3/13 ; G01G3/16 ; G01N5/02
摘要：
本发明提供一种双头质量传感器(25),其中在相应侧边与一个第一膜片(21A)相连的一个第一连接片(22A)和与一个第二膜片(21B)相连的一个第二连接片(22B)之间,跨接有一个第一传感片(41A),在该传感片在至少一个平面表面上设置有一个主元件(44),由所说膜片(21A)(21B)、所说连接片(22A)(22B)、所说第一传感片(41A)和所说主元件(44)构成的一个谐振部分与一个传感器基板(27)相连。通过测量由于膜片(21A)(21B)质量变化引起的谐振部分谐振频率的变化测得所说膜片(21A)(21B)中每一个的质量变化。本发明的质量传感器能够容易而且高精度地测量毫微克量级的微小质量,包括微生物如细菌和病毒、化学物质,以及测量蒸气沉积膜的厚度。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01G | 称量 |
| ------G01G3/00 | 以应用可产生弹性形变的元件为特征的称量仪器，例如弹簧秤 |
| --------G01G3/12 | .其中称量部件当称量时处于受压力或张力作用的固体形式 |
| ----------G01G3/13 | ..具有压—电或压—阻的性质 |