基本信息:
- 专利标题： 一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法
- 申请号：CN202411095282.8 申请日：2024-08-09
- 公开(公告)号：CN118937357A 公开(公告)日：2024-11-12
- 发明人： 施玉书 , 张树 , 史舟淼 , 高启元
- 申请人： 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
- 申请人地址： 北京市朝阳区北三环东路18号
- 专利权人： 中国计量科学研究院,深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
- 当前专利权人： 中国计量科学研究院,深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区北三环东路18号
- 代理机构： 北京高沃律师事务所
- 代理人： 赵兴华
- 主分类号： G01N21/95
- IPC分类号： G01N21/95 ; G01N21/88 ; G01N21/01
摘要：
本发明公开一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法，涉及精密仪器检测领域。所述检测装置包括：激光器、传输分光组件、第一光接收器、第二光接收器和分析仪；所述第一光接收器和所述第二光接收器均与所述分析仪连接。本发明实施例利用对光栅反射的相互干涉的衍射光进行合束，得到干涉光，然后对干涉光进行分束，得到偏振方向相同且相位不同的分束光，通过对偏振方向相同且相位不同的分束光进行相位解算的方式实现光栅表面缺陷的定性和定量的检测，并且本发明实施例对干涉光进行测量，克服了由于光栅表面对环境光反射造成的图像检测精度低的缺陷，提高了检测精度。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |
| ------------G01N21/95 | ...特征在于待测物品的材料或形状 |