基本信息:
- 专利标题： 读数头、光栅干涉仪及位移测量系统
- 申请号：CN202310529813.9 申请日：2023-05-11
- 公开(公告)号：CN118936301A 公开(公告)日：2024-11-12
- 发明人： 高磊 , 高立冬 , 孙展
- 申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
- 申请人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
- 专利权人： 北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人： 北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理人： 李文清
- 主分类号： G01B9/02018
- IPC分类号： G01B9/02018 ; G01B9/02 ; G01B9/00 ; G01B11/02
摘要：
本发明涉及光学系统技术领域，提供一种读数头、光栅干涉仪及位移测量系统，该读数头包括：分光组件和导光组件，该读数头借助于分光组件，将第一信号光分为五路第一光束，将第二信号光分为三路第二光束，该读数头具有两个自由度，可以从两个维度对因光栅位移而引起的干涉信号的变化情况进行采集，进而可以为从两个维度对光栅进行位移测量提供依据。如此，该读数头可以适用于对不同栅线方向的光栅的位移测量，且对光栅的测量范围不受现有的距离限制，并可以得到大幅度提高。而且，该读数头的两个自由度可以共享三路第二光束，可以更为简单地实现相应的效果。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B9/00 | 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器 |
| --------G01B9/02 | .干涉仪 |
| ----------G01B9/02001 | ..以控制或内部辐射为特征； |
| ------------G01B9/02017 | ...目标对象和光束之间的多重相互作用，例如来自不同位置的光束反射； |
| --------------G01B9/02018 | ....多通道干涉仪，例如双通道； |