基本信息:
- 专利标题： 一种避免金属间电化学腐蚀效应的钨/氮化钛蚀刻液
- 申请号：CN202410839568.6 申请日：2024-06-26
- 公开(公告)号：CN118931541A 公开(公告)日：2024-11-12
- 发明人： 贺兆波 , 郑秋曈 , 叶瑞 , 欧阳克银 , 钟昌东 , 黄锣锣 , 张演哲 , 李文飞 , 高楒羽 , 张宗萍
- 申请人： 湖北兴福电子材料股份有限公司
- 申请人地址： 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号
- 专利权人： 湖北兴福电子材料股份有限公司
- 当前专利权人： 湖北兴福电子材料股份有限公司
- 当前专利权人地址： 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号
- 代理机构： 宜昌市三峡专利事务所
- 代理人： 王玉芳
- 主分类号： C09K13/06
- IPC分类号： C09K13/06
摘要：
本发明涉及一种避免金属间电化学腐蚀效应的钨氮化钛蚀刻液，所述蚀刻液包括按质量百分比计的如下组分：双氧水10%‑30%，碱1‑5%，表面活性剂1%‑5%、电化学腐蚀抑制剂0.1%‑2%，余量为去离子水。电化学腐蚀抑制剂可以显著降低钨层与钛/氮化钛层之间的电化学腐蚀反应电位，抑制钨层与钛/氮化钛层之间的的腐蚀电流，使两金属层之间存在的电化学腐蚀减弱。同时表面活性剂可以调节蚀刻液与不同膜层之间的浸润、接触性。确保各膜层被完全蚀刻，避免出现金属拖尾等现象，影响后续的制程。本发明中可避免金属间电化学腐蚀效应的钨/氮化钛蚀刻液较普通蚀刻液可显著降低金属钨层与钛/氮化钛层间的电化学腐蚀效应，同时也能维持稳定的蚀刻速率和寿命。
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C09 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 |
| ----C09K | 不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用 |
| ------C09K13/00 | 蚀刻，表面光亮或浸渍组合物 |
| --------C09K13/04 | .含一种无机酸 |
| ----------C09K13/06 | ..带有机材料的 |