基本信息:
- 专利标题： 一种具有双层基区结构的碳化硅光电晶体管及其制备方法
- 申请号：CN202410838206.5 申请日：2024-06-26
- 公开(公告)号：CN118867014A 公开(公告)日：2024-10-29
- 发明人： 张峰 , 田自谦 , 付钊 , 李子豪 , 张锐军 , 刘佳
- 申请人： 厦门大学
- 申请人地址： 福建省厦门市思明区思明南路422号
- 专利权人： 厦门大学
- 当前专利权人： 厦门大学
- 当前专利权人地址： 福建省厦门市思明区思明南路422号
- 代理机构： 厦门南强之路专利事务所(普通合伙)
- 代理人： 张素斌
- 主分类号： H01L31/0352
- IPC分类号： H01L31/0352 ; H01L31/0224 ; H01L31/0312 ; H01L31/11 ; H01L31/18
摘要：
一种具有双层基区结构的碳化硅光电晶体管及其制备方法，涉及紫外光电探测器。具有双层基区结构的碳化硅光电晶体管为npn垂直结构，包括从下到上依次设置的发射极电极、N