基本信息:
- 专利标题： 一种导片方法及导片系统
- 申请号：CN202411080532.0 申请日：2024-08-07
- 公开(公告)号：CN118866786A 公开(公告)日：2024-10-29
- 发明人： 汤宋波 , 严大 , 范方宇 , 白明星 , 裴梓柏
- 申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
- 申请人地址： 江苏省无锡市新吴区长江南路27号
- 专利权人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
- 当前专利权人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省无锡市新吴区长江南路27号
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理人： 李带娣
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/673 ; H01L31/18
摘要：
本发明提供了一种导片方法及导片系统，该导片方法，通过将第二承载单元部分片材转移至缓存齿组件上，处于缓存齿组件上的片材与第二承载单元上剩余的片材能够形成多个拾取单元，这样可以扩展第一承载单元和第二承载单元的承载量，不仅可以提升载片舟和花篮的承载量，而且拾取单元的片材数量等于一个第一承载单元的承载量，片材在二者之间的转移效率比较高。