基本信息:
- 专利标题： 用于减少衬底特征中的变化性的系统和方法
- 申请号：CN202280091964.4 申请日：2022-12-22
- 公开(公告)号：CN118715590A 公开(公告)日：2024-09-27
- 发明人： 斯里哈沙·贾扬提 , 格拉尔多·德尔加迪奥 , 梅雷特·王
- 申请人： 朗姆研究公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海胜康律师事务所
- 代理人： 李献忠; 张静
- 优先权： 63/311,226 2022.02.17 US
- 国际申请： PCT/US2022/053888 2022.12.22
- 国际公布： WO2023/158491 US 2023.08.24
- 进入国家日期： 2024-08-16
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
摘要：
描述了一种用于减少衬底特征之间变化性的方法。该方法包括通过单个射频(RF)发生器产生RF信号。该方法还包括通过单个RF发生器修改RF信号以在一定时间段内的三种状态或四种状态之间交替。