基本信息:
- 专利标题： 一种适用于IGBT晶圆硅表面处理的腐蚀剂
- 申请号：CN202410767740.1 申请日：2024-06-14
- 公开(公告)号：CN118652687A 公开(公告)日：2024-09-17
- 发明人： 李冬明 , 张伟 , 李虎宝 , 殷金虎
- 申请人： 江苏晶久微电子材料有限公司
- 申请人地址： 江苏省常州市金坛区华洲路1号
- 专利权人： 江苏晶久微电子材料有限公司
- 当前专利权人： 江苏晶久微电子材料有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省常州市金坛区华洲路1号
- 代理机构： 南京协行知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 蒋浩
- 主分类号： C09K13/08
- IPC分类号： C09K13/08 ; H01L21/306
摘要：
本发明公开了一种适用于IGBT晶圆硅表面处理的腐蚀剂，包括60‑100份硫酸、6‑10份硝酸、3‑5份氢氟酸以及1‑3份表面活性剂，本发明通过添加表面活性剂降低了腐蚀剂的表面张力，并且将现有技术中混酸配比的水分全部替换成酸类成分，从而使酸类成分充分有效的接触硅片的表面，有效提高腐蚀剂的腐蚀速率，在腐蚀过程中，腐蚀剂中的酸类成分在硅片表面停留的时间变短，腐蚀过后，硅片表面粗糙，无死角。本发明的腐蚀液在应用过程中稳定、可控性好、重复性好，不需要温控设备和循环设备，降低了生产成本。
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C09 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 |
| ----C09K | 不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用 |
| ------C09K13/00 | 蚀刻，表面光亮或浸渍组合物 |
| --------C09K13/04 | .含一种无机酸 |
| ----------C09K13/08 | ..含一种氟化物 |