基本信息:
- 专利标题： 激光烧蚀制备EGaIn/石墨烯复合柔性电容器的方法
- 申请号：CN202410581327.6 申请日：2024-05-11
- 公开(公告)号：CN118609995A 公开(公告)日：2024-09-06
- 发明人： 尤睿 , 张璐瑶 , 梁密生
- 申请人： 北京信息科技大学
- 申请人地址： 北京市海淀区小营东路12号
- 专利权人： 北京信息科技大学
- 当前专利权人： 北京信息科技大学
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区小营东路12号
- 代理机构： 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 邬晓楠
- 主分类号： H01G4/005
- IPC分类号： H01G4/005 ; H01G4/33 ; H01G13/00 ; G01D5/24
摘要：
本发明公开的激光烧蚀制备EGaIn/石墨烯复合柔性电容器的方法，属于柔性传感器领域。本发明实现方法为：用刷子将EGaIn涂在SEBS基板上，所得到的EGaIn薄膜用作电流集电极；通过预先设计的模板丝网印刷石墨烯浆料，将石墨烯选择性地沉积在EGaIn薄膜的所需区域上，得到石墨烯/EGaIn双层；激光沿着预先设计的路径照射以制造图案；利用激光控制相邻交叉电极的间隙和石墨烯的质量负载，将聚二甲基硅氧烷PDMS液体涂覆在交叉电极区域，渗透到石墨烯层中，实现PDMS对EGaIn层的粘附，得到EGaIn/石墨烯复合柔性电容器。通过EGaIn/石墨烯复合结构，利用激光合理控制相邻交叉电极的间隙和石墨烯的质量负载，能够获得具有高面电容、高灵敏度、快速响应时间的柔性电容器。