基本信息:
- 专利标题： 一种周期性多层膜在制备扫描电子显微镜检测能力验证样品中的应用
- 申请号：CN202310240607.6 申请日：2023-03-06
- 公开(公告)号：CN118600376A 公开(公告)日：2024-09-06
- 发明人： 李明 , 柯培玲 , 姚懿容 , 魏艳萍 , 蒋蓉蓉 , 管建敏 , 苗利静
- 申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 申请人地址： 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
- 专利权人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人地址： 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理人： 纪志超
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; G01N23/2202 ; G01N23/2251 ; C23C14/14 ; C23C14/06 ; C23C14/58
摘要：
本发明提供了一种周期性多层膜在制备扫描电子显微镜检测能力验证样品中的应用；所述周期性多层膜中包括Ti层、TiN层和CrN层。本发明采用包括Ti层、TiN层和CrN层的周期性多层膜，其结构简单，易于不同专业的电镜使用人员理解，弥补了现有扫描电镜检测能力验证样品对测试人员专业知识有专业背景限制的不足，更具有普适性。在扫描电镜下，Ti和TiN原子序数衬度差异较小，TiN和CrN原子序数衬度差别较大，要完全辨别形貌衬度差异辨别需要一定的扫描电镜测试分析能力基础，可以验证实验室的检测能力。