基本信息:
- 专利标题： 一种压电式压力传感器及其制备方法
- 申请号：CN202410624847.0 申请日：2024-05-20
- 公开(公告)号：CN118541008A 公开(公告)日：2024-08-23
- 发明人： 耿文平 , 丑修建 , 乔骁俊 , 许文昊 , 汪子涵
- 申请人： 中北大学
- 申请人地址： 山西省太原市学院路3号
- 专利权人： 中北大学
- 当前专利权人： 中北大学
- 当前专利权人地址： 山西省太原市学院路3号
- 代理机构： 北京清控智云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
- 代理人： 管士涛
- 主分类号： H10N30/30
- IPC分类号： H10N30/30 ; H10N30/88 ; H10N30/02 ; G01L1/16 ; G01L9/08
摘要：
本发明涉及一种压电式压力传感器及其制备方法。该压电式压力传感器，所述传感器包括PCB板，所述PCB板的表面设置有硅基铌酸锂组件，所述硅基铌酸锂组件包括设置于PCB板表面的硅基片，所述硅基片与铌酸锂单晶表面旋涂聚酰亚胺胶后键合，所述硅基铌酸锂组件的表面连接有金属电极，所述金属电极与所述PCB板的铜电极通过导电银浆连接；该压电式压力传感器，首次尝试利用硅基铌酸锂进行压电式压力传感器的制备，显著提高了器件的输出性能并表明了铌酸锂与硅基器件集成的可能性。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H10 | 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件 |
| ----H10N | 其它不包括的电固态器件 |
| ------H10N30/00 | 压电或电致伸缩器件 |
| --------H10N30/30 | .具有机械输入和电输出，例如用作发电机或传感器 |