基本信息:
- 专利标题： 片固定装置、片剥离装置及片的剥离方法
- 申请号：CN202280077407.7 申请日：2022-12-15
- 公开(公告)号：CN118284962A 公开(公告)日：2024-07-02
- 发明人： 柳井威范 , 中村利美 , 小宫未希子 , 北畠有纪子 , 松浦宜范
- 申请人： 三井金属矿业株式会社
- 申请人地址： 日本
- 专利权人： 三井金属矿业株式会社
- 当前专利权人： 三井金属矿业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本
- 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 刘新宇; 岳红杰
- 优先权： 2021-213106 2021.12.27 JP
- 国际申请： PCT/JP2022/046167 2022.12.15
- 国际公布： WO2023/127518 JP 2023.07.06
- 进入国家日期： 2024-05-22
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; B65H41/00
摘要：
本发明提供一种在固定多层片的一个面而剥离其相反侧的层时能够抑制多层片和支承台之间的泄漏的发生而确保密合力的片固定装置。该片固定装置包括用于支承多层片的支承台和能够经由吸附孔朝向支承台吸引多层片的吸引部件。支承台具有：板状构件，其具有能够载置多层片的平坦面；吸附孔，其设在板状构件的与多层片的外周部对应的位置；以及台阶部，其在板状构件沿着吸附孔的外侧设置。板状构件的平坦面的由JIS B0621－1984规定的平面度为0.30mm以下。