基本信息:
- 专利标题： 用于测试光电子器件的设备和方法
- 申请号：CN202280076083.5 申请日：2022-11-17
- 公开(公告)号：CN118265918A 公开(公告)日：2024-06-28
- 发明人： 西格弗里德·赫尔曼
- 申请人： 艾迈斯-欧司朗国际有限责任公司
- 申请人地址： 德国
- 专利权人： 艾迈斯-欧司朗国际有限责任公司
- 当前专利权人： 艾迈斯-欧司朗国际有限责任公司
- 当前专利权人地址： 德国
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理人： 支娜; 蒋静静
- 优先权： 102021130077.0 2021.11.17 DE
- 国际申请： PCT/EP2022/082198 2022.11.17
- 国际公布： WO2023/088999 EP 2023.05.25
- 进入国家日期： 2024-05-15
- 主分类号： G01R31/26
- IPC分类号： G01R31/26 ; H01L21/66
摘要：
本发明涉及一种包括多个光电子器件(4)的晶片(1)，其中晶片(1)包括用于检查光电子器件(4)中的至少一个光电子器件的至少一个参数的机构。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01R | 测量电变量；测量磁变量（通过转换成电变量对任何种类的物理变量进行测量参见G01类名下的 |
| ------G01R31/00 | 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置 |
| --------G01R31/26 | .单个半导体器件的测试 |