基本信息:
- 专利标题： 多波长多偏振的角分辨散射检测装置及其图像处理方法
- 申请号：CN202410321339.5 申请日：2024-03-20
- 公开(公告)号：CN118258791A 公开(公告)日：2024-06-28
- 发明人： 许剑锋 , 丁悦 , 白龙 , 曹其贤 , 孙浩 , 谭伟
- 申请人： 华中科技大学
- 申请人地址： 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人： 华中科技大学
- 当前专利权人： 华中科技大学
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构： 武汉华之喻知识产权代理有限公司
- 代理人： 曹葆青
- 主分类号： G01N21/49
- IPC分类号： G01N21/49 ; G01N21/01 ; G01N21/88 ; G01N21/956
摘要：
本申请公开了一种多波长多偏振的角分辨散射检测装置及其图像处理方法，属于光学测量技术领域。本申请中，分光单元将入射的激光分为多路子入射光；各滤波单元选择不同的通过波长对各路子入射光进行滤波，偏振单元改变滤波后入射光的偏振态；随后耦合单元将各路子入射光耦合为一路入射光后投射至可旋转样品台上的样品；散射光收集单元分别针对不同通过波长，采集不同方位角和散射角的散射光光强图像；数据处理单元对不同方位角和散射角的光强图像进行拼接融合，输出与样品亚表层损伤相关的散射光强矩阵分布图。利用本申请可选择多种检测波长和偏振态进行角分辨散射缺陷检测，提供更加全面的散射谱信息，扩大了检测装置的应用范围和检测精度。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/21 | ..影响偏振的性质 |
| ------------G01N21/49 | ...固体或流体中的散射 |