基本信息:
- 专利标题： 调节激光电极的装置和方法
- 申请号：CN202280070403.6 申请日：2022-09-14
- 公开(公告)号：CN118202535A 公开(公告)日：2024-06-14
- 发明人： 王昱达 , P·C·梅尔彻 , 尤昌琦 , A·J·小艾芬伯格
- 申请人： 西默有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 西默有限公司
- 当前专利权人： 西默有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理人： 张宁
- 优先权： 63/270,187 2021.10.21 US
- 国际申请： PCT/US2022/043488 2022.09.14
- 国际公布： WO2023/069206 US 2023.04.27
- 进入国家日期： 2024-04-18
- 主分类号： H01S3/225
- IPC分类号： H01S3/225
摘要：
公开了通过在腔室制造钝化过程的一部分期间或在腔室投入使用之后间歇地或根据需要地向第一电极供应反极性脉冲来钝化通常用作激光放电室中的阴极的第一电极的装置和方法，该激光放电室还包括通常用作阳极的第二电极。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01S | 利用受激发射的器件 |
| ------H01S3/00 | 激光器，即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件 |
| --------H01S3/10 | .控制辐射的强度、频率、相位、极化或方向，例如开关、选通、调制或解调 |
| ----------H01S3/16 | ..固体材料 |
| ------------H01S3/223 | ...激光气体是多原子的，即含有1个原子以上的 |
| --------------H01S3/225 | ....包括1种激发物或激态复合物 |