基本信息:
- 专利标题： 一种氢气质谱检漏系统及检漏方法
- 申请号：CN202311861409.8 申请日：2023-12-29
- 公开(公告)号：CN118111635A 公开(公告)日：2024-05-31
- 发明人： 郝猛 , 李赏 , 宋海燕
- 申请人： 北京中科科仪股份有限公司
- 申请人地址： 北京市海淀区中关村北二条13号
- 专利权人： 北京中科科仪股份有限公司
- 当前专利权人： 北京中科科仪股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区中关村北二条13号
- 代理机构： 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理人： 刘家聪
- 主分类号： G01M3/20
- IPC分类号： G01M3/20
摘要：
本发明涉及真空检漏技术领域，其目的是提供一种氢气质谱检漏系统及检漏方法。这种氢气质谱检漏系统以氢气作为示漏气体，但可以降低氢离子本底，提高检测精度。上述氢气质谱检漏系统包括：检漏口、质谱检漏模块、前级泵和吸附模块；质谱检漏模块与检漏口通过第一管路连通；前级泵与质谱检漏模块通过第二管路连通，前级泵与检漏口通过第三管路连通；吸附模块包括：设置于第一管路上的第一吸附装置、设置于第二管路上的第二吸附装置以及设置于质谱检漏模块气路上的第三吸附装置。本发明解决了现有技术中的氦质谱检漏仪使用氢气作为示漏气体时，受水蒸气等气体影响，会提高氢离子本底，降低检测精度的问题。
公开/授权文献:
- CN118111635B 一种氢气质谱检漏系统及检漏方法 公开/授权日：2025-01-24
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01M | 机器或结构部件的静或动平衡的测试；未列入其他类目的结构部件或设备的测试 |
| ------G01M3/00 | 结构部件的流体密封性的测试 |
| --------G01M3/02 | .应用流体或真空 |
| ----------G01M3/04 | ..通过在漏泄点检测流体的出现 |
| ------------G01M3/20 | ...应用特殊示踪物质，例如染料、荧光材料、放射性材料 |