基本信息:
- 专利标题： 由SiC材料构成的主体容器
- 申请号：CN202410197054.5 申请日：2020-03-03
- 公开(公告)号：CN118087035A 公开(公告)日：2024-05-28
- 发明人： 金子忠昭
- 申请人： 学校法人关西学院 , 丰田通商株式会社
- 申请人地址： 日本国兵库县
- 专利权人： 学校法人关西学院,丰田通商株式会社
- 当前专利权人： 学校法人关西学院,丰田通商株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国兵库县
- 代理机构： 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 方挺; 张函
- 优先权： 2019-069281 2019.03.29 JP 2019-069281 2019.03.29 JP 2019-069281 2019.03.29 JP
- 分案原申请号： CN202080018795.2 2020.03.03
- 主分类号： C30B25/16
- IPC分类号： C30B25/16 ; C30B25/08 ; C30B29/36 ; C30B25/10 ; C30B25/14 ; C30B25/20 ; H01L29/16 ; H01L29/167
摘要：
本发明所要解决的技术问题是提供一种新型的SiC外延衬底的制造方法及其制造装置。其中，使SiC衬底(10)与掺杂浓度比该SiC衬底(10)低的SiC材料(20)相对置并进行加热，从SiC材料(20)向SiC衬底(10)输送原料，从而形成SiC外延层(11)。由此，与常规方法(化学气相沉积法)相比，能够提供削减了控制参数的SiC外延衬底的制造方法。