基本信息:
- 专利标题： 电加热型薄膜吸气剂及其制备方法
- 申请号：CN202410220349.X 申请日：2024-02-28
- 公开(公告)号：CN118028742A 公开(公告)日：2024-05-14
- 发明人： 吴华亭 , 熊玉华 , 李洋 , 徐晓强 , 郭德宇 , 游孟园 , 张文宇
- 申请人： 有研工程技术研究院有限公司
- 申请人地址： 北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号
- 专利权人： 有研工程技术研究院有限公司
- 当前专利权人： 有研工程技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号
- 代理机构： 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- 代理人： 张文宝
- 主分类号： C23C14/14
- IPC分类号： C23C14/14 ; C23C14/02 ; C23C14/58
摘要：
本发明提出一种电加热型薄膜吸气剂及其制备方法，该电加热型薄膜吸气剂由基底材料和表面的吸气材料组成，基底材料经无机复合酸清洗处理后真空烘干，然后在基底材料表面物理气相沉积制备一层或多层吸气材料，最后将其进行真空退火，得到电加热型薄膜吸气剂。该制备方法工艺简单、可操作性强，制备的电加热型薄膜吸气剂具有柔性，结构简单轻巧，便于装配，膜基结合力好，可独立激活，吸气性能高的特点。